商品介紹

　 　 　 　 　 　 　 　
　
光譜響應/量子效率量測系統
Spectral Response/Quantum Efficiency Measurement System
 　
　
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　     不同的光電偵測器與從單一PN接面到多接面的太陽能電池，其皆具有不同的光譜響應，藉由光譜響應數據可用於分析能隙、光損耗、電損耗、接面品質、擴散長度、載子收集效率、溫度係數、多接面太陽能電池的電流匹配條件，這將有助於了解偵測器及太陽能電池特性，並貢獻到製程上的改善。
     系統採用高效率的收光及穩定的量測模組，可提供高強度的單色光，且極佳的訊號雜訊比及高分辨率的訊號擷取，達到快速及準確的量測結果。

　
　
　

　 　
　
　
　 　　
　　
  ● 特點 　　
　　
   • 配置參考偵測器，可校正和量測光譜響應/量子效率
   • 配置Czerny-Turner多光柵單光儀，＜10-5低雜散光，具高重複及穩定度，提
       供高純度的單色光
   • 內置AM1.5G光譜，客戶也可自行輸入，並計算全光譜短路電流密度
   • 配置低訊號噪聲的高分辨率量測儀擷取訊號，無須操作鎖相放大器做繁雜的設
       定，即可提供準確並穩定的量測結果
   • 可量測太陽能電池材料能隙，提供客戶重要材料參數
   • 含直流量測模式，模組化整合到系統，無須再拆裝任何硬體設備
   • 可配置偏壓，用於調製具有接面的結構，可以模擬不同彎曲能帶條件下的光響
       應。其載子收集效率可以用正向/反向偏壓條件來進行評估
   • 可配偏光功能，用於評估某些類型的太陽能電池，具有光激發的非線性 (選配)
   • 可評估載子收集率 (選配)
   • 可搭配調變溫度的測試平台，以研究溫度係數，並提供能隙能量及短路電流Jsc
       之相關參數 (選配)
   • 光老化或光致衰減(LID)評估研究 (選配)
   • 可搭反射率量測模組，提供內部量子效率量測 (選配)，客戶也可自行輸入反射
       率數據，計算內部量子效率
   • 電流-電壓(I-V)特性曲線量測，並分析相關參數 (選配)
   • 可依據客戶其他應用需求，客製化硬體擴充 (選配)
　　
　　

軟體擷取畫面
(包含參數設定/模式選擇/量測結果)

———●〈 可選配反射率量測模組，提供內部量子效率量測 〉●———
6 吋矽晶


———●〈 可選配溫控載台，做不同溫度下的量子效率量測 〉●———
不同溫度的EQE曲線
溫度和Jsc關係圖
———●〈 可選配變角度的量測模組，做不同角度下的量子效率量測 〉●———


▋產品型號

項目
規格
光源系統
 (1) 波長範圍: 300 to 1100nm
      (具他選配:200nm~400nm, 1100nm~1400nm & 400~2000nm
      或 更長~3000nm)
(2) 75W Xe 燈光源；搭配高效率的集光模組
(3) 光強穩定性(Optical Stability): 2.0%
(4) 具備燈源位置三軸微調功能
(5) 含燈源使用計時器
單光輸出系統
 (1) 單光儀焦長(Focal Length): ≧110 mm
(2) 光柵波長覆蓋範圍: 300~1100 nm
(3) 相對孔徑(Aperture Ratios): f/3.9
(4) 波長解析度: 1, 2, 5 and 10 nm(系統默認)或其他客製
(5) 掃描間隔: 0.1~500 nm，可調
(6) 波長正確度: ±0.6 nm
光學成像系統
 (1) 搭配顯微鏡模組，光斑可達~100 um直徑；可調或其他客製品
(2) 相機解析度: ≧1800萬畫素；單一像素≦1.25 um
(3) 總放大倍數: 4~50X；選配100X
(4) 影像解析度: 3 um以上，也可搭配不同物鏡觀測大樣品
(5) 光學成像系統與光路同軸光，下針後即可量測，不需移動成像
      系統
自動濾波片系統
 (1) 最多可放置5片濾光片
(2) 自動控制或手動控制
光斬波器
 (1) 頻率範圍4~200 Hz/20~2000 Hz/200~10 KHz
(2) 頻率解析度可達0.01 Hz，穩定度＜±0.05 Hz
樣品量測平台
 (1) 手動樣品探針平台一組
(2) 平台上最少可放置4支探針座
(3) 可放置樣品尺寸: 5 mm2~＞300 cm2
(4) 三軸微調探針座: 兩組，三軸解析2 um，三軸最大行程12 mm
(5) 探針座: 磁吸式及絕緣底座
(6) 鎢鋼探針一盒: 探針尺寸能搭配探針座功能及200 um鎢針頭
(7) 其他樣品台或客製平台
校正偵測器
 Si(200~1100nm)
其他選配: InGaAs(1000~2000nm)、Ge(900~1800nm)或其他客製
      ，亦可附第三方可追溯的認證
量測數據採集系統
 (1) 交流模式(AC mode)、直流模式(DC mode)或交&直流加偏壓、
      偏光採集模式
(2) 最小電流解析度: 10 fA
(3) 動態範圍: >100 dB
(4) 最大增益: 108
(5) 輸出偏致電壓範圍: 0~±10 V
(6) 時間常數: 10 ms~20 Ks
(7) 具有自動增益與自動調整相位的功能
(8) 介面接口: RS232及 GPIB(IEEE488)
(9) 相位測量解析度: 0.01o
(10) 穩定度: ＜6 ppm/oC
(11) 偏移度: X.Y.R可偏移至全行程+/-105%
(12) 採樣率: >500/s，並具有8000點記憶體緩衝區
量測軟體
 (1) 絕對光強校正
(2) 光譜響應/ 外部量子效率量測
(3) 自動、即時短路電流密度(Jsc)計算
(4) 單波長短路電流自動計算
(5) 外部反射率導入計算內部量子效率(IQE)
(6) 太陽能電池材料能隙計算
(7) 選配: 可即時觀測樣品量測影像；並具儲存影像功能
(8) 具資料庫功能
(9) 資料保存格式: txt & jpg
(10) 選配: 照光I-V曲線量測，並計算計算太陽能電池參數，包括
      Voc, Isc, Jsc, Vmax, Imax, Pmax, Fill Factor (FF), Efficiency,
      Rs, Rsh。不照光的I-V曲線，可以提供關於能隙介面品質的飽
      和電流（J0）和理想因子（n）
屏蔽暗箱
 (1) 具開啟式活動門
(2) 具電磁屏蔽功能
光偏壓源
(選配)
 (1) 單或雙波段鹵素燈或發光二極體(LED)燈；可調強度
(2) 光纖光路輸出，亦可搭配其他光路
其他選配
 (1) 內部量子效率量測模組
(2) 可量測特定單色光照光下的I-V曲線
(3) 可量測順向、逆向偏壓掃描範圍下的I-V磁滯曲線
(4) XY自動掃描平台